| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1016/j.sse.2004.05.033 |
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| Auteur | Rechercher : Sheng, S. R.1; Rechercher : McAlister, S. P.1; Rechercher : McCaffrey, J. P.2; Rechercher : Kovacic, S. J. |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
- Conseil national de recherches Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | International Semiconductor Device Research Symposium 2003 (ISDRS '03), 10-12 December 2003, Washington, D.C., USA |
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| Date de publication | 2004-07-08 |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Numéro du CNRC | NRC-INMS-784 |
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| Numéro NPARC | 8899116 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 2ffbd289-4f54-421c-939c-dfbcba30b8d5 |
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| Enregistrement créé | 2009-04-22 |
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| Enregistrement modifié | 2020-04-17 |
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