| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1109/JLT.2009.2021562 |
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| Auteur | Rechercher : Kuan, Pei Yap; Rechercher : Delage, A.; Rechercher : Lapointe, J.1; Rechercher : Lamontagne, B.1; Rechercher : Schmid, J. H.1; Rechercher : Waldron, P.1; Rechercher : Syrett, B. A.; Rechercher : Janz, S.1 |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Électronique et photonique avancées
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| Format | Texte, Article |
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| Résumé | We use star couplers to measure the relative scattering losses of silicon-on-insulator (SOI) ridge waveguides of various widths over the range of 1.75 to 0.2 mum in a single measurement. The scattering loss data obtained for waveguides fabricated by different photolithography and e-beam base processes correlate well with the measured root-mean-square roughness of the waveguide sidewalls obtained using SEM image analysis, and are in qualitative agreement with the prediction of simple scattering loss theory. |
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| Date de publication | 2009-04-28 |
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| Maison d’édition | Institute of Electrical and Electronics Engineers |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Numéro NPARC | 23004664 |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | 272e7d4f-f600-4cc4-ad76-84322ebb5778 |
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| Enregistrement créé | 2018-12-06 |
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| Enregistrement modifié | 2021-09-17 |
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