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NSC-NRC Collaborative Research Program: project status summary: advanced silicon processes for CMOS

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
ConférenceThe 5th anniversary event of NSC-NRC Collaborative Research Program, June 24-25, 2002, Taipei, Taiwan
Date de publication
Dans
  • The 5th anniversary event of NSC-NRC Collaborative Research Program: Symposium Proceeding : 112–119.
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC23003965
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Identificateur de l’enregistrement1aff66af-810e-4125-b7eb-4c2f6ce800bd
Enregistrement créé2018-08-27
Enregistrement modifié2020-03-30
Date de modification :