Meso-structure study of a porous SiO2 thin film on 001 Si by TEM

Auteur	Rechercher : Wu, X.; Rechercher : Yu, Kui¹
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
Format	Texte, Article
Conférence	Microscopy and Microanalysis 2003, Aug 2003, San Antonio, Texas
Numéro NPARC	12346735
Exporter la notice	Exporter en format RIS
Signaler une correction	Signaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrement	0be5f205-8381-455d-bdc4-f13680882704
Enregistrement créé	2009-09-17
Enregistrement modifié	2020-04-16